小型化不断进步于20新世纪80那个年代末，指的是机械化设备制造高一身式化化向小型服务器和微观粒子个方面进步的前景。国内称其为微自动化机械化设备制造程序(MEMS)，就是指多少长宽高不🥂已经超过1cm3的机械化设备制造高一身式化化新好软件，并向微米换算、nm级进步。微机械化设备制造高一身式化化新好软件体积太小、耗电少、移动迟钝，在生物制品医疔、军事体育、讯息等个方面更具不得相比的的优势。微机械化设备制造高一身式化化进步的瓶颈期是因为微机械化设备制造水平，微机械化设备制造高一身式化化新好软件的粗加工制作用细致粗加工制作水平，即超精细😼水平，它以及光刻水平和蚀刻水平几种。

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